等离子体光谱仪采用模块化设计，可以配置成单通道、双通道、四通道或多通道（可达10个通道）。每个通道可以设置不同的积分时间或信号平均次数，且各通道同步采集。
等离子体光谱仪的性能和灵活性：
无论空气环境是否变化均能对所有气流实现精密、稳定的输送，以保持等离子稳定性。
轻松连接外围设备，便于与如激光剥蚀等高级技术联用。
完整的质量流控制器可输送附加气体，不需执行复杂应用。
多种样品处理套件和自动进样器以便实现简单、有效配置和分析性能。
有的垂直观察等离子体或双向（垂直和水平）观察等离子体的配置可选。
集成的氢化物发生系统附件可提供针对氢化物形成元素的亚 ppb 检测。
等离子体光谱仪对气体控制系统的维护保养：
icp的气体控制系统是否稳定正常地运行，直接影响到仪器测定数据的好坏，如果气路中有水珠、机械杂物杂屑等都会造成气流不稳定，因此，对气体控制系统要经常进行检查和维护。
先要做气体试验，打开气体控制系统的电源开关，使电磁阀处于工作状态，然后开启气瓶及减压阀，使气体压力指示在额定值上，然后关闭气瓶，观察减压阀上的压力表指针，应在几个小时内没有下降或下降很少，否则气路中有漏气现象，需要检查和排除。
然后由于氩气中常夹杂有水分和其它杂质，管道和接头中也会有一些机械碎屑脱落，造成气路不畅通。
因此，需要定期进行清理，拔下某些区段管道，然后打开气瓶，短促地放一段时间的气体，将管道中的水珠，尘粒等吹出。在安装气体管道，特别是将载气管路接在雾化器上时，要注意不要让管子弯曲太厉害，否则载气流量不稳而造成脉动，影响测定。